單晶爐“棒擺”原因分析及應(yīng)對對策

[2014/1/2]

　　單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,使用加熱器將多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備,。單晶爐在感應(yīng)熔煉中應(yīng)用很普遍,，不過作為一種熔煉設(shè)備出現(xiàn)故障是在所難免的，“棒擺”就是一種常見的單晶爐故障,，今天小編就和大家分享一下單晶爐出現(xiàn)“棒擺”的原因和解決方法,。

　　“棒擺”是專業(yè)術(shù)語，其實(shí)就是同城我們所說的單晶爐晶棒晃動，可能發(fā)生在整個單晶爐拉晶的各個階段,。而產(chǎn)生晶棒晃動的原因有很多,，到目前為止也沒有一個確定的答案，但是主要是由于以下幾個地方出現(xiàn)故障造成的：

　　1.提拉頭,，減速機(jī)構(gòu)/旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)或者熱場和軟軸,。

　　2.惰性氣體如氬氣在爐內(nèi)的流動，爐子的結(jié)構(gòu)設(shè)計出現(xiàn)問題,，熱場的設(shè)計和分布不均勻,。

　　3.冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障，硅料和重錘的結(jié)構(gòu)出現(xiàn)偏差,。

　　不僅單晶爐的晶棒會晃動,，液面也有可能出現(xiàn)抖動現(xiàn)象，液面出現(xiàn)抖動的原因主要有以下幾點(diǎn)：

　　1.下軸傳動部分出現(xiàn)蝸輪斷齒等減速器故障,。

　　2.下軸機(jī)械部分出現(xiàn)問題,，比如有死點(diǎn)有雜物或者潤滑程度不夠等。

　　我們在使用的單晶爐的時候,，不僅要掌握單晶爐操作步驟,，而且要能在單晶爐出現(xiàn)故障時及時發(fā)現(xiàn)原因并采取有效的應(yīng)對措施。

　?。ň庉嫞簑xq）

上一篇:多室連續(xù)式真空爐概況一覽

下一篇:我廠科研中心將策劃研發(fā)新一代單晶爐

友情提示：

單晶爐“棒擺”原因分析及應(yīng)對對策

[2014/1/2]

相關(guān)新聞