首先在準(zhǔn)備作業(yè)前,，操作人員要確保進入單晶爐車間時穿戴好統(tǒng)一干凈的服裝。在單晶爐開爐前,，做好相應(yīng)的檢查工作,。準(zhǔn)備好防塵口罩，馬金,，一次性手套等常用用品,。各類工具準(zhǔn)備齊全。爐子在開始使用前,，要對單晶爐進行清理,。

   由于單晶爐的設(shè)備型號的不同，因此今天給大家介紹的步驟是常用單晶爐的操作步驟,，具體到實際操作,，還要根據(jù)型號而定。

   首先在單晶爐作業(yè)前,，要做好準(zhǔn)備工作,，然后開始進行熱態(tài)檢漏，檢漏的要求在3分鐘以上,，同時要做好記錄,。接下來將單晶和籽晶取出，冷卻后要對單晶進行參數(shù)檢測,，同樣需要做好記錄,。接著將石墨件取出做好冷卻工作,，之后要對進行重量檢測并做記錄。然后在通過真空過濾器來進行清洗,，真空泵油的檢查更換,。完成以上步驟，就要開始對石墨,，單晶爐的室內(nèi)進行清洗了,，知道確認(rèn)沒有污物為止。接下來就是對石墨的,，石英坩堝,，籽晶進行安裝，然后進行抽空繼續(xù)檢漏,。最后引晶,，縮頸，放肩,，轉(zhuǎn)肩,，然后等徑生長。最后單晶爐就進入收尾工作了,。

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