真空爐系統(tǒng)中的油擴(kuò)散泵是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的，它工作在高真空區(qū)域，其工作壓強(qiáng)范圍為10-2～10-6pa,。油蒸汽從傘形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音速噴出后，其速度逐漸增大,，壓力及密度逐漸降低,。

    1．概述 油擴(kuò)散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的,，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn),。不同點(diǎn)是擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域，其工作壓強(qiáng)范圍為10-2～10-6pa,。廣泛用于電子,、化工、冶金,、機(jī)械,、石油及原子能等工業(yè)部門中。

    2．油擴(kuò)散泵的工作原理與結(jié)構(gòu)

    當(dāng)油蒸汽從傘形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音速噴出后,，其速度逐漸增大,，壓力及密度逐漸降低，射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴(kuò)散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B,，在B處,，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環(huán)使用，而被抽氣體在B處堆積,、壓縮,，最后被下級(jí)射流攜帶走，以達(dá)到逐級(jí)壓縮,，最后被前級(jí)泵抽走,。