單晶爐在運(yùn)作過(guò)程中因?yàn)橐恢倍紩?huì)處于高溫的狀態(tài)下,，對(duì)其他的零部件要求高且嚴(yán)格,，因?yàn)樾枰S持長(zhǎng)時(shí)間的工作，所以需要特別注意定期進(jìn)行必要的維護(hù)保養(yǎng),。

1,、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置要求的運(yùn)動(dòng)精度比較高，是設(shè)備的核心運(yùn)動(dòng)部件,，應(yīng)重點(diǎn)維護(hù),。坩堝軸是石墨坩堝的支撐軸，應(yīng)隨時(shí)檢查其冷卻水的情況,，以免燒損,。

坩堝驅(qū)動(dòng)采用滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，是坩堝驅(qū)動(dòng)的關(guān)鍵部件,，需保持清潔,，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著,，并定期涂抹潤(rùn)滑脂,。

2、籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機(jī)構(gòu)的維修

籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機(jī)構(gòu)也是單晶爐的關(guān)鍵部件,，該部件運(yùn)行的好壞直接影響單晶的生長(zhǎng),。因此，也須重點(diǎn)維護(hù),。

卷輪箱是籽晶提升的核心,，卷輪箱內(nèi)的零件一般情況下不得隨意拆除，必須拆除時(shí),，重新安裝時(shí)必須保證軟軸對(duì)中,。軟軸鋼絲繩在使用中不準(zhǔn)有死彎現(xiàn)象，并在每次開(kāi)爐時(shí)檢查鋼絲繩是否燒損,，如有燒損應(yīng)及時(shí)修整或更換新的鋼絲繩,。

除了上面的兩點(diǎn)之外，在每次開(kāi)爐前應(yīng)檢查水路系統(tǒng)是否暢通,，水溫檢測(cè)傳感器安裝是否正常,。發(fā)現(xiàn)有結(jié)垢時(shí)應(yīng)及時(shí)清理。在拉晶過(guò)程中,，若發(fā)現(xiàn)水壓報(bào)警或漏水時(shí)要及時(shí)采取措施,。真空管道的過(guò)濾網(wǎng)每爐要清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。

編輯GYN