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單晶爐長晶原理是什么[2014/4/10]在單晶爐中可以進(jìn)行一些操作,,如果把高純度的多晶硅原料放在高純度的石英坩堝中,,通過加熱器的作用,就會(huì)產(chǎn)生高溫,,這樣就會(huì)把它熔化,。如果對(duì)熔化的硅液進(jìn)行降溫處理,就會(huì)產(chǎn)生一定程度的過冷度,,然后再使用一個(gè)硅單晶體插在熔體的表面,,需要使用固定在籽晶軸上的硅單晶體。可以等這籽晶可以和熔體相融合之后,,然后慢慢的往上拉動(dòng)籽晶,。然后晶體就會(huì)在慢慢的生長,可以生長成為直徑3至5毫米的細(xì)頸,。
這個(gè)細(xì)頸可以消除高溫溶液產(chǎn)生的強(qiáng)烈的沖擊作用,,這樣就會(huì)形成一個(gè)錯(cuò)位,這個(gè)過程就是引晶,。然后可以把晶體的直徑放大,,將其放大到工藝所要求的大小就可以,一般來說,,這個(gè)長度是75至300毫米,,專業(yè)術(shù)語則可以把它稱為放肩。如果突然將拉速提高的話,,使肩部形成一個(gè)直角,。然后單晶爐就會(huì)進(jìn)入等徑工藝,通過對(duì)熱場(chǎng)溫度和晶體來提升下速度,,這樣就會(huì)生成一定大小的單晶柱體,。 如果很多硅溶液已經(jīng)完成了結(jié)晶,就可以把晶體慢慢的縮小,,直到縮小為一個(gè)尾形的椎體就可以了,,一般這個(gè)尾形椎體也被稱為收尾工藝。這樣就可以把單晶的拉制過程完成操作,,然后再經(jīng)過一定的保溫冷卻就可以將其取出來了,。 編輯:wq 上一篇:真空爐有什么樣的用途
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